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多晶硅工藝
來(lái)源: | 作者:prof71c1d | 發(fā)布時(shí)間: 2008-07-10 | 1572 次瀏覽 | 分享到:

 

  多晶硅生產(chǎn)工藝流程,多晶硅最主要的工藝包括，三氯氫硅合成、四氯化硅的熱氫化（有的采用氯氫化），精餾，還原，尾氣回收，還有一些小的主項(xiàng)，制氫、氯化氫合成、廢氣廢液的處理、硅棒的整理等等。

  主要反應(yīng)包括：Si+HCl---SiHCl3+H2（三氯氫硅合成）;SiCl4+H2---SiHCl3+HCl（熱氫化）;SiHCl3+H2---SiCl4+HCl+Si（還原）多晶硅是由硅純度較低的冶金級(jí)硅提煉而來(lái)，由于各多晶硅生產(chǎn)工廠所用主輔原料不盡相同，因此生產(chǎn)工藝技術(shù)不同，生產(chǎn)多晶硅工藝，多用到多晶硅專用耐磨硬密封球閥，陶瓷閥等。


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